一、在選真空泵時，首先要注意真空泵在工作時產(chǎn)生的振動對工藝和環(huán)境是不是存在著影響，如果工藝過程受到影響，應(yīng)該采取防振措施或者另選真空泵。在選擇的時候需要了解待抽氣體的成分，如果需要選擇性的抽氣，一種泵可能不足以滿足要求，必須組合多種不同的泵互相配合工作，如果真空鍍膜設(shè)備鍍膜要求無油則要選用無油泵。
二、真空泵的價格和維修費用也是我們考慮的重點之一。
三、真空鍍膜設(shè)備對于真空度的極限要求和工作壓力強度要求越來越大，對真空泵的抽真空能力要求就越高，起碼泵的極限抽真空度要高于真空設(shè)備工作真空度的半個數(shù)量級以上。每種泵都有一定的工作壓強范圍，譬如像擴散泵的壓強為3~10-7mmHg，其穩(wěn)定工作壓強范圍為5*10-4~5*10-6mmHg，那么使用擴散泵就不能讓其在未定工作壓強范圍之外工作。
四、當泵需要的氣體壓力不高或所需的真空度不高的時候，可優(yōu)先在單級泵中進行選擇，度過排氣壓力或真空度的要求比較高，單擊泵往往不可以滿足要求，可以選擇使用兩級泵或者多級泵。
