CCZK-OGS光學(xué)精密鍍膜設(shè)備
集成電子束蒸發(fā)、磁控濺射復(fù)合工藝，搭配離子源輔助沉積單元，適配多層精密光學(xué)膜層加工，可制備均勻、雜質(zhì)含量低、厚度偏差可控的光學(xué)膜層。
聯(lián)系地址：江蘇省南通市通州灣示范區(qū)大豫鎮(zhèn)江新路16號
1.配置境外品牌膜厚監(jiān)測組件，厚度控制精度≤±1%，批次膜層加工一致性較好
2.前置離子源清洗工序，改善膜層與基材結(jié)合效果
3.設(shè)備工作區(qū)間真空度較高，減少膜層雜質(zhì)生成，提升光學(xué)成品通過率
4.支持多種光學(xué)鍍膜工藝方案，適配多款光學(xué)元件加工需求
1.搭載晶控、光控兩套膜厚監(jiān)測模式，采用全自動閉環(huán)調(diào)節(jié)程序
2.立式一體化機(jī)身布局，場地占用適中，操作流程簡易
3.離子源同步輔助沉積，膜層結(jié)構(gòu)緊實(shí)，與基材結(jié)合穩(wěn)定
4.配備手動、全自動兩種運(yùn)行模式，兼顧樣品研發(fā)與批量生產(chǎn)
| 型號 | CCZK-1350-OGS | CCZK-1600-OGS | CCZK-2050-OGS |
| 腔體尺寸 | D1350mm*H1350mm | D1600mm*H1500mm | D2050mm*H1600mm |
| 負(fù)載功率 | 67KW | 86KW | 105KW |
| 占地面積 | L5700mm*W4900mm*H3050mm | L6800mm*W5800mm*H6780mm | L8300mm*W7000mm*H4200mm |
| 可鍍模層 | AR 增透膜、AF 防指紋膜、高反射膜、濾光膜、BBAR 寬帶增透膜；AF 膜硬度≥6H，光學(xué)膜層致密無針孔 | ||
| 真空系統(tǒng) | 擴(kuò)散泵/渦輪分子泵+羅茨泵+機(jī)械泵+維持泵（深冷系統(tǒng)可選） | ||
| 極限真空 | 5*10??Pa | ||
| 轉(zhuǎn)動系統(tǒng) | 行星自轉(zhuǎn)和公轉(zhuǎn)系統(tǒng) 6/8/10/12/16軸 | ||
| 鍍膜系統(tǒng) | E型電子束 霍爾離子源 分布式 MFC 氣路 CTM? 石英晶體膜厚監(jiān)測儀 | ||
| 電源 | 電子束電源 等離子體電源 | ||
| 操作系統(tǒng) | 全自動（IPC/PLC）+遠(yuǎn)程操作+報警系統(tǒng)（支持OPC-UA Link協(xié)議） | ||
| 備注 | 具體配置大小均可根據(jù)客戶的鍍膜產(chǎn)品要求進(jìn)行設(shè)計 | ||
適配手機(jī)攝像鏡片、光學(xué)鏡頭、眼鏡鏡片、車載顯示玻璃、VR/AR 光學(xué)元器件、精密濾光片鍍膜加工，可制備 AR 增透膜、AF 防指紋膜、高反射膜、濾光膜、BBAR 寬帶增透膜。AF 膜硬度≥6H，光學(xué)膜層結(jié)構(gòu)緊實(shí)，可減少針孔缺陷。
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